Polovodičový průmysl je rostoucí odvětví s vlastními pravidly. Části strojů, které se používají, musí splňovat přísné požadavky na čistotu, vzhled a kvalitu povrchu. Společně s OpenMind a skupinou Regofix ISCAR ukazuje, jak těchto cílů dosáhnout při výrobě.
Jak se vyrábějí velké hliníkové komponenty pro zařízení polovodičového průmyslu? Jak lze komponenty rychle a ekonomicky vyrábět? A jak mohou nástroje a strategie obrábění splnit vysoké požadavky tohoto odvětví na povrch a čistotu? Na tyto a další otázky se ISCAR zaměřil se svými projektovými partnery OpenMind, výrobcem výkonných CAD/CAM řešení pro nezávislé NC programování strojů a řízení, a výrobcem upínacích nástrojů Regofix Group v TechCenter v Ettlingenu. Kromě specialisty na produkty ISCAR Thomase Mertela se akce zúčastnili členové týmu TechCenter ISCAR, Marco Huck a Markus Schmitt, a Jakob Nordmann z OpenMind. Motivovaný tým společně vyvinul potřebné nápady a strategie.
‚Teď je to TechCenter – také známé jako ISCARův ‚hřiště pro velké kluky‘ – co nám při realizaci našich nápadů poskytuje téměř neomezený prostor. Ale nešlo nám o legraci‘, říká Thomas Mertel. ‚Naším cílem bylo vytvořit v praktickém testu znatelnou přidanou hodnotu pro naše zákazníky.‘ Obtížnost: Polovodičový průmysl je velmi tajnůstkářský, pokud jde o konkrétní rozměry a tvary komponentů jejich výrobních zařízení.
S plným arzenálem na hliníkový blok
‚Proto jsme obráběli exemplární komponentu, která by mohla být součástí jednoho z zařízení‘, vysvětluje Mertel a s úsměvem dodává: ‚Jednoduše jsme vzali velký blok hliníku a upnuli ho na obráběcí centrum řady Hermle C 52 U a začali jsme s plným arzenálem.‘ Tým mohl čerpat z široké nabídky nástrojů a vybrat přesně to, co bylo potřeba pro daný úkol. Na seznamu bylo nakonec 16 různých ISCAR nástrojů a upínacích zařízení od Regofix. Potřebné programování dodal OpenMind.
Pro objemové obrábění ploch byl například použit HELI3MILL plochý fréza s průměrem 40 milimetrů, osazený osmi trojhrannými vyměnitelnými řeznými destičkami se třemi šroubovými řeznými hranami. Aby tým vytvořil hluboké dutiny, použil 16mm frézu z tvrdokovu (VHM) z ISCARovy série MegaALU s vyložením 7xD. Tato rodina nástrojů byla také použita při hrubování a dokončování – jako MULTIMASTER systém s vyměnitelnými hlavami o průměru 25 milimetrů a vyložením 8xD pro hrubování a dokončování povrchů a jako 8mm VHM fréza s 6xD pro dokončování vysokých ramen. Pro finální úpravy tým zvolil PKD systém s průměrem 100 milimetrů.
‚Zvlášť vzrušující byly obvodové těsnicí drážky s uzavřeným profilem‘, říká specialista na produkty. Aby ISCAR zajistil požadovanou kvalitu těsnicí plochy, nemohl drážku obvykle frézovat frézou. To by vedlo k nežádoucí struktuře povrchu na dně drážky. Tým však našel chytré řešení: ‚Místo toho jsme použili soustružnický nástroj z naší řady PICCOCUT, abychom vyřezali paralelní linii k profilu‘, říká Mertel. ‚To vedlo k vynikajícím výsledkům.‘
Ukázaný potenciál
Tak se z bloku s délkami hran až 400 milimetrů postupně stala hotová komponenta, která splňuje všechny požadavky polovodičového průmyslu – rychle a ekonomicky vyrobená. ‚Tento náročný, vzrušující a velmi poučný projekt ukazuje působivě, co je možné s ISCAR nástroji pro polovodičový průmysl‘, shrnuje Mertel. ‚Spolupráce fungovala velmi dobře a všem zúčastněným to přineslo spoustu zábavy.‘
Kontakt:
